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Advanced Nanoanalysis Techniques
Montags 18:30-20:00 in BER 105
Erste Vorlesung: Mo 08.10.2012, h 18:30, BER 105
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| title: | Advanced Nanoanalysis Techniques |
| type of lectures: | Modulvorlesung |
| schedule: | 2012WS Montags 18:30-20:00 |
| course language: | Deutsch |
| room: | BER 105 |
| credits: | Studenten im 9. Semester des Studiengangs Werkstoffwissenschaft
Doktoranden im Bereich der Materialwissenschaft
andere Interessenten |
| summary: | Hochauflösende analytische Verfahren sind entscheidend sowohl für die Entwicklung und Einführung neuer Nano- und Dünnschichttechnologien als auch für die Integration neuartiger Materialien in High-Tech-Produkte. Nanoanalytik wird zunehmend für die Prozess- und Materialcharakterisierung während der Fertigung von nanostrukturierten Systemen und Bauelementen sowie zur Beschreibung nanoskaliger Gefügebereiche in Werkstoffen erforderlich.
Zahlreiche neue Entwicklungen auf dem Gebiet der Nanoanalytik ermöglichen die Abbildung sowie die strukturelle und chemische Charakterisierung von Strukturen im Bereich < 100 nm, bis hin zu atomaren Dimensionen. Die Eignung eines Verfahrens für Forschung und Entwicklung oder zur Prozesskontrolle in der Fertigung wird durch die Methode selbst, insbesondere ob sie zerstörend oder zerstörungsfrei ist, sowie von der erforderlichen Mess- und Analysezeit ("time-to-data") bestimmt.
Ziel dieser Vorlesung ist es, heute und künftig vor allem in der Mikro-Nano- und OptoelekÂtronik eingesetzte physikalische Analyseverfahren kennen zu lernen. Die Bedeutung der Material- und Prozess-Charakterisierung mit hochauflösenden Verfahren für Funktionalität, Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit mikro- und optoelektronischer Bauelemente wird erläutert. Der interdisziplinäre Charakter der Werkstoffanalytik wird an ausgewählten Beispielen aus der Halbleiterindustrie demonstriert. Dabei wird die enge Verflechtung von Bauelemente-Design, Technologie, Werkstoffen und Analytik aufgezeigt. |
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last modified: 2018.12.04 Di
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Prof. Dr. Gianaurelio Cuniberti
secretariat:
postal address:
Institute for Materials Science
TU Dresden
01062 Dresden, Germany
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