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TU Dresden » Faculty of Mechanical Science and Engineering » Institute for Materials Science » Chair of Materials Science and Nanotechnology



Vorlesung Ankündigung

Advanced Nanoanalysis Techniques

Mittwoch 6. DS (16:40 - 18:10), jede 2. Wo, 1. Termin: 20.10.2010 in Zeuner-Bau 147

title:Advanced Nanoanalysis Techniques
uni code:
type of lectures:Modulvorlesung
given by: E Zschech
schedule:2010WS Mittwoch 6. DS (16:40 - 18:10), jede 2. Wo, 1. Termin: 20.10.2010
course language:Deutsch
room:Zeuner-Bau 147
credits:
summary:Hochauflösende analytische Verfahren sind entscheidend sowohl für die Entwicklung und Einführung neuer Nano- und Dünnschichttechnologien als auch für die Integration neuartiger Materialien in High-Tech-Produkte. Nanoanalytik wird zunehmend für die Prozess- und Materialcharaktersierung während der Fertigung von nanostrukturierten Systemen und Bauelementen sowie zur Beschreibung nanoskaliger Gefügebereiche in Werkstoffen erforderlich. Daher werden Forschungs- und Entwicklungsarbeiten auf neue analytische Verfahren zur Untersuchung von dünnen Schichten und Nanostrukturen gerichtet. Applikations-spezifische Entwicklungen zeigen häufig, dass die Kombination mehrerer Analytik-Methoden notwendig bzw. sinnvoll ist, um die Entwicklung und Kontrolle von Prozessen in der Nanotechnologie bzw. die Sicherung von Performance und Zuverlässigkeit neuer Produkte zu gewährleisten.

Zahlreiche neue Entwicklungen auf dem Gebiet der Nanoanalytik ermöglichen die Abbildung sowie die strukturelle und chemische Charakterisierung von Strukturen im Bereich < 100 nm, bis hin zu atomaren Dimensionen. Die Eignung eines Verfahrens für Forschung und Entwicklung oder zur Prozesskontrolle in der Fertigung wird durch die Methode selbst, insbesondere ob sie zerstörend oder zerstörungsfrei ist, sowie von der erforderlichen Mess- und Analysezeit ("time-to-data") bestimmt.

Ziel dieser Vorlesung ist es, heute und künftig vor allem in der Mikro-Nano- und Optoelektronik eingesetzte physikalische Analyseverfahren kennen zu lernen. Die Bedeutung der Material- und Prozess-Charakterisierung mit hochauflösenden Verfahren für Funktionalität, Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit mikro- und optoelektronischer Bauelemente wird erläutert. Der interdisziplinäre Charakter der Werkstoffanalytik wird an ausgewählten Beispielen aus der Halbleiterindustrie demonstriert. Dabei wird die enge Verflechtung von Bauelemente-Design, Technologie, Werkstoffen und Analytik aufgezeigt.


last modified: 2017.06.26 Mo
author: webadmin

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