Die gegenwärtige Entwicklung der Mikro- und Nanotechnologie ist durch die weitere Miniaturisierung von geometrischen Strukturen im nm-Bereich gekennzeichnet. Dabei werden zum einen die Kapazität und die Informationsdichte von Bauelementen erhöht, zum anderen erfolgt deren gezielte Eigenschaftsveränderung und Parameteroptimierung. In den letzten Jahren geschieht die Erzeugung derartiger Nanostrukturen verstärkt mittels Bottom–up Verfahren unter Ausnutzung der Selbstorganisation. Die Selbstorganisation findet auf molekularer oder nanokristalliner Ebene statt und kann biologisch, chemisch oder physikalisch erfolgen. Beim Aufbau von selbstorganisierten Schichtstrukturen werden biomimetische Ansätze genutzt, d.h. biologische Strukturbildungen dienen als Vorlage für die Organisation von anorganischen Materialien auf der nm-Skala. Die Herstellung solcher selbstorganisierter Monoschichten, ihre Modifizierung und Charakterisierung sind dabei aktuelle Forschungsaufgaben. Selbstorganisierte Schichtstrukturen finden zunehmend Anwendung in der Mikro bzw. Nanoelektronik, der optischen Sensorik und Photonik sowie in der Zellbiologie. Dazu bietet der Workshop Beispiele aus der Grundlagenforschung sowie erste Anwendungen aus der industrienahen Forschung. Der von der Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e. V. (EFDS) veranstaltete Workshop wendet sich gleichermaßen an Ingenieure und Naturwissenschaftler aus den Bereichen Oberflächen- und Schichttechnik, Mess- und Sensortechnik Mikroelektronik, Optoelektronik und Photonik, sowie Materialforschung.