Funding period: | Jan. 1, 2015 to Dec. 31, 2018 |
Agency: | Europa fördert Sachsen - EFRE |
title: Verbundprojekt EVOLVE - Teilprojekt: Multiskalenmodellierung der eletrochemischen Kupferabscheidung
agency: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und Sächsiche Aufbaubank (SAB)
time frame: 2015-2018
description:
The process of copper electrodeposition on patterend substrates is theoretically investigated from nano to micro scale by employing ab initio DFT, classical molecular dynamics, Monte Carlo simulation, and continuum methods.
Funding period: | Jan. 1, 2015 to Dec. 31, 2018 |
Agency: | Europa fördert Sachsen - EFRE |
title: Verbundprojekt EVOLVE - Teilprojekt: Multiskalenmodellierung der eletrochemischen Kupferabscheidung
agency: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und Sächsiche Aufbaubank (SAB)
time frame: 2015-2018
description:
The process of copper electrodeposition on patterend substrates is theoretically investigated from nano to micro scale by employing ab initio DFT, classical molecular dynamics, Monte Carlo simulation, and continuum methods.