| Funding period: | Jan. 1, 2015 to Dec. 31, 2018 |
| Agency: | Europa fördert Sachsen - EFRE |
title: Verbundprojekt EVOLVE - Teilprojekt: Multiskalenmodellierung der eletrochemischen Kupferabscheidung
agency: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und Sächsiche Aufbaubank (SAB)
time frame: 2015-2018
description:
The process of copper electrodeposition on patterend substrates is theoretically investigated from nano to micro scale by employing ab initio DFT, classical molecular dynamics, Monte Carlo simulation, and continuum methods.
| Funding period: | Jan. 1, 2015 to Dec. 31, 2018 |
| Agency: | Europa fördert Sachsen - EFRE |
title: Verbundprojekt EVOLVE - Teilprojekt: Multiskalenmodellierung der eletrochemischen Kupferabscheidung
agency: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) und Sächsiche Aufbaubank (SAB)
time frame: 2015-2018
description:
The process of copper electrodeposition on patterend substrates is theoretically investigated from nano to micro scale by employing ab initio DFT, classical molecular dynamics, Monte Carlo simulation, and continuum methods.
